Mikrofizika
Mikrofizika Szak: Járműmérnök, Mechatronikai mérnök, Mérnök informatikus, Villamosmérnök (kötelezően választható tantárgy)Neptun kód: NGM_FI003_1Óraszám: 2+0+0Kreditpont: 2Előtanulmányi követelmény: ---
Oktatás célja:A tárgy célja az anyagok mikrofizikai tulajdonságainak bemutatása a kristályszerkezettől egészen a félvezető alapú monolit struktúrák kialakításáig. Ismertetésre kerülnek az összetett tulajdonságok révén alkalmazott félvezető és folyadékkristályos anyagok, illetve a legmodernebb elektronikai és optoelektronikai eszközök, valamint ezek előállítási technológiái. A különféle mikrofizikai technológiák és karakterizálási módszerek és ezek összefüggései is ismertetésre kerülnek hagyományos és csúcstechnológiai példákon keresztül. Tantárgy tartalma:
Zsebők Ottó: Fejezetek a nanoelektronika mikrofizikájából (elektronikus jegyzet).
S. M. Sze : VLSI Technology, McGraw-Hill International Editions, Electrical & Electronic Engineering series.
H. P. Myers: Introductory Solid State Physics, Taylor & Francis Publishing, ISBN 0-85066-761-5.
N.W. Ashcroft, N.D. Mermin: Solid State Physics, Holt, Rinehart and Winston, New York, ISBN 0-03-049346-3.
S. M. Sze: VLSI Technology, McGraw-Hill International Editions, Electrical & Electronic Engineering series, ISBN 0-07-100347-9.
Oktatás célja:A tárgy célja az anyagok mikrofizikai tulajdonságainak bemutatása a kristályszerkezettől egészen a félvezető alapú monolit struktúrák kialakításáig. Ismertetésre kerülnek az összetett tulajdonságok révén alkalmazott félvezető és folyadékkristályos anyagok, illetve a legmodernebb elektronikai és optoelektronikai eszközök, valamint ezek előállítási technológiái. A különféle mikrofizikai technológiák és karakterizálási módszerek és ezek összefüggései is ismertetésre kerülnek hagyományos és csúcstechnológiai példákon keresztül. Tantárgy tartalma:
- Mikrofizika történeti áttekintése.
- Mikrofizika és makrofizikai folyamatok összefüggései.
- Folyadékkristályos állapot és típusai.
- Egykristályos anyagok és leírásuk: Bravais-rácsok és Miller-indexek.
- Kristályhibák típusai és hatásaik atomi méretek esetén.
- Tökéletes egykristályos elektronikai anyagok mikrofizikai és technológia jelentősége.
- Elektronok tulajdonságai két-, egy- és nulladimenziós terekben.
- A kétdimenziós elektrongáz (2DEG) gyakorlati jelentősége: nagy elektronmobilitású tranzisztor (HEMT).
- Az egydimenziós struktúrák jelentősége: kvantumzsinór (QWi) lézer.
- Mikrofizikai karakterizálási módszerek. A pásztázó és transzmissziós elektronmikroszkópia alapjai.
- Folyamatosan beállítható fizikai, elektronikai és optikai tulajdonságok – a természetben nem előforduló, mesterséges kristályos anyagok és jelentőségük.
- Egykristályos anyagok és struktúrák előállítása atomonként: Additív mikrofizikai technológiák.
- Mikrofizikai szelektív anyageltávolítási technológiák: Szubtraktív mikrofizikai és kémiai maratási technológiák.
Zsebők Ottó: Fejezetek a nanoelektronika mikrofizikájából (elektronikus jegyzet).
S. M. Sze : VLSI Technology, McGraw-Hill International Editions, Electrical & Electronic Engineering series.
H. P. Myers: Introductory Solid State Physics, Taylor & Francis Publishing, ISBN 0-85066-761-5.
N.W. Ashcroft, N.D. Mermin: Solid State Physics, Holt, Rinehart and Winston, New York, ISBN 0-03-049346-3.
S. M. Sze: VLSI Technology, McGraw-Hill International Editions, Electrical & Electronic Engineering series, ISBN 0-07-100347-9.