Anyagtudomány és technológia
Anyagtudomány és technológia Szak: Villamosmérnök (kötelező tantárgy)Neptun kód: NGB_AU014_1Óraszám: 4+0+0Kreditpont: 5Előtanulmányi követelmény: Fizika villamosmérnököknek I. Oktatás célja:A legelterjedtebb és legújabb elektronikai alapanyagok és csúcstechnológiájú félvezetőanyagok, valamint optikai és elektronikai félvezető eszközök tulajdonságainak és szerteágazó előállítási technológiáinak megismerése egészen az atomi szintig. Mikro- és nanoelektronikai anyagvizsgálati és karakterizálási módszerek alapjainak megismerése. Tantárgy tartalma:
Zsebők Ottó: Anyagtudomány és technológia (Fejezetek a vegyület-félvezetőkből és a félvezetők technológiáiból) (pdf) Széchenyi István Egyetem (ISBN 978-615-5391-01-9).
- Anyagtudomány és elektronikai technológiák története.
- Kristályos anyagok tulajdonságai.
- Kristályhibák típusai és jelentőségük.
- Vegyület-félvezetők
- Nagytisztaságú egykristályok növesztése.
- Multifunkcionális oxidréteg kialakítása szilíciumban.
- Epitaxiális rétegnövesztési technológiák – egykristályos anyagok előállítása atomonként.
- Karakterizálása elektronnyaláb segítségével: pásztázó és transzmissziós elektronmikroszkópia, energiadiszperzív röntgen spektroszkópia, Auger-elektron spektroszkópia.
- Optikai és elektronsugaras litográfiai technológiák.
- Nedves kémiai és száraz maratási technológiákkal.
- Vékonyréteg elektronikai technológiák.
- Vastagréteg elektronikai technológiák.
Zsebők Ottó: Anyagtudomány és technológia (Fejezetek a vegyület-félvezetőkből és a félvezetők technológiáiból) (pdf) Széchenyi István Egyetem (ISBN 978-615-5391-01-9).